补偿流程如下：

1.测头半径输入：在数控系统中输入测头的半径值，这一值通常由测头制造商提供或通过校准获得。

2.测量触发：测头在工件表面触发时，系统会记录此时测头的位置坐标。

3.误差补偿计算：由于测头的触针有一定半径，系统需要将测量的坐标值减去或加上测头半径，以获得实际的工件表面坐标。这个计算过程就是所谓的半径误差补偿。

4.自动修正：数控系统根据补偿后的坐标值自动调整测量结果，确保最终的测量数据准确无误。

测头半径误差补偿的准确性直接影响工件的加工精度。如果测头半径的数据不准确或未进行补偿，可能导致测量结果偏差，进而影响成品的质量。